RC-340高速沉銅工藝
RC-340高速沉銅溶液為非常穩定的沉銅系統,可用同一種溶液生產出結構致密、延展性好的厚沉銅層和薄沉銅層。該系統藥水濃縮程度高、添加量少,工作液比重低、流動性好.
一、特點
1、 操作溫度低,溶液穩定性好,沉積速率快;
2、 工作溶液的添加,只用二種補充劑,操作簡單;
3、 溶液在孔壁上的沉積速率高于銅表面上的沉積速率。
二·配方及操作條件
項目 |
范圍 |
最佳值 |
銅濃度 |
2.5~3.5 g/L |
3.0 g/L |
氫氧化鈉 |
8.0~12.0 g/L |
10.0g/L |
甲醛 |
3.0~4.0 g/L |
3.5g/L |
RC-340Mu |
6.0 %v/v |
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RC-340A |
3.5%v/v |
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RC-340B |
3.5%v/v |
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PH |
12.8~13.0 |
12.9 |
溫度 |
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預鍍銅 |
55~62℃ |
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甲醛 |
10-20ML/L |
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厚銅 |
45~55℃ |
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薄銅 |
33~37℃ |
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過濾 |
連續過濾, 10mm孔徑聚丙烯低吸附性材料 |
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攪拌 |
空氣攪拌 |
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鍍槽 |
聚丙烯、PVDC、高密度聚乙烯 |
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掛具 |
聚丙烯、PVDC、316型不銹鋼 |
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加熱器 |
聚四氟乙烯、石英加熱器 |
三、溶液配制
1、清洗鍍槽,加入計算量的蒸餾水或去離子水,加熱至45℃;
2、攪拌下加入計算量的RC-340 Mu,充分混合;
3、攪拌下加入計算量的RC-340 A,充分混合;
4、攪拌下加入計算量的RC-340 B,充分混合;
5、調節溫度至所需范圍,溶液即可使用。
注:溶液配好后不宜長時間存放,只有在使用之前才進行第3、4工序。